AWM40000 系列
AWM40000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質(zhì)量流量經(jīng)引導(dǎo)流過(guò)傳感元件的表面。輸出電壓與流過(guò)封裝進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量成正比。特殊設(shè)計(jì)的外殼精確地引導(dǎo)和控制氣流流過(guò)微結(jié)構(gòu)傳感元件。封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。
微橋氣體質(zhì)量流量傳感器內(nèi)含一塊獨(dú)特的基于先進(jìn)微結(jié)構(gòu)技術(shù)的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結(jié)構(gòu)，內(nèi)含加熱器和溫度傳感元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件還能指示氣流流過(guò)的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個(gè)傳感器之間始終具有一致的可互換性。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 補(bǔ)償式或非補(bǔ)償式
● ±25.0 SCCM、1.0 SLPM、6.0 SLPM
● 模擬輸出
相關(guān)產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù)
| 性能參數(shù) | |
| 信號(hào)調(diào)節(jié) | 未放大的（補(bǔ)償?shù)模┗蚍糯蟮?/td> |
| 技術(shù) | 硅芯片 |
| 流量/壓力范圍 |
±25.0 SCCM, 1.0 SLPM, 6.0 SLPM |
|
輸出 |
模擬 |
|
耗電量 |
60 mW max. or 75 mW max |
|
接口方式 |
歧管 |
|
媒體兼容性 |
僅干燥氣體 |
|
工作溫度范圍 |
-40°C to 125°C [-40°F to 251°F] |
|
補(bǔ)償溫度范圍 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
|
尺寸（高x寬x高） |
12,7 mm x 30,5 mm x 30,2 mm |
|
特征 |
對(duì)低流量的敏感性，增強(qiáng)的響應(yīng)時(shí)間， 低功耗，模擬輸出，激光微調(diào) |
