AWM3000 系列
AWM3000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器同 AWM2000 系列一樣，惠斯頓雙電橋控制氣體流量測量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和將電壓偏移引入傳感器輸出。加熱器控制電路和傳感橋供電電路位于封裝電路板上
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 補(bǔ)償式
● 30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM：0 mbar 至 1.25 mbar，0 mbar 至 5.0 mbar
● 模擬輸出
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相關(guān)產(chǎn)品
描述
技術(shù)參數(shù)
| 性能參數(shù) | |
| 信號(hào)調(diào)節(jié) | 放大 |
| 技術(shù) | 硅芯片 |
| 流量/壓力范圍 |
30 SCCM, 200 SCCM, 1000 SCCM, ±1000 SCCM, |
|
輸出 |
模擬 |
|
耗電量 |
50 mW典型值 |
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接口方式 |
直筒型 |
|
媒體兼容性 |
僅干燥氣體 |
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工作溫度范圍 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
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補(bǔ)償溫度范圍 |
- |
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尺寸（高x寬x高） |
12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm |
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特征 |
對(duì)低流量的敏感性、快速響應(yīng)時(shí)間、低功耗， 模擬輸出，放大的雙向流動(dòng) |
