AWM2000 系列
AWM2000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器是由兩個(gè)惠斯通橋構(gòu)成的被動(dòng)裝置。根據(jù)操作規(guī)范，還需具備發(fā)熱器控制電路。根據(jù)操作規(guī)范，還需具備傳感橋供電電路。這兩種電路不在封裝電路板上，因此必須在應(yīng)用中提供。差分放大器是一個(gè)有用的傳感橋接口。它可用于增加增益并將電壓偏置引入傳感器輸出。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 補(bǔ)償式
● ±30 SCCM、±1000 SCCM：±10.0 mbar
● 模擬輸出
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相關(guān)產(chǎn)品
描述
技術(shù)參數(shù)
| 性能參數(shù) | |
| 信號(hào)調(diào)節(jié) | 非放大，帶補(bǔ)償 |
| 技術(shù) | 硅芯片 |
| 流量/壓力范圍 |
±30 SCCM, ±200 SCCM, ±1000 SCCM, |
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輸出 |
模擬 |
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耗電量 |
30 mW典型值 |
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接口方式 |
直筒型 |
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媒體兼容性 |
僅干燥氣體 |
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工作溫度范圍 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
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補(bǔ)償溫度范圍 |
- |
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尺寸（高x寬x高） |
12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm |
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特征 |
對(duì)低流量敏感，響應(yīng)增強(qiáng)時(shí)間， 低功耗，模擬輸出，雙向感應(yīng)能力 |
