AWM1000 系列
AWM1000 系列氣體質(zhì)量流量傳感器利用微橋氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)，具有標(biāo)準(zhǔn) AWM2000 系列的所有優(yōu)良性能，而且更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。此裝置提供準(zhǔn)確、可重復(fù)的氣流傳感。傳感器與傳感器的可互換性規(guī)格約是 AWM2000 系列的兩倍。
根據(jù)操作規(guī)范的要求，同時具備加熱器控制電路和傳感橋供電電路。這兩種電路不在傳感器電路板上，因此必須在應(yīng)用中提供。差分放大電路可能有助于提供輸出增益和/或?qū)㈦妷浩脤?dǎo)入傳感器輸出。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 非補(bǔ)償式
● ±200 SCCM、1000 SCCM 至 -600 SCCM：±5.0 mbar、±10.0 mbar
● 模擬輸出
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相關(guān)產(chǎn)品
描述
技術(shù)參數(shù)
| 性能參數(shù) | |
| 信號調(diào)節(jié) | 非放大，帶補(bǔ)償 |
| 技術(shù) | 硅芯片 |
| 流量/壓力范圍 |
±200 SCCM, 1000 SCCM to -600 SCCM, |
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輸出 |
模擬 |
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耗電量 |
30 mW典型值 |
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接口方式 |
直筒型 |
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媒體兼容性 |
僅干燥氣體 |
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工作溫度范圍 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
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補(bǔ)償溫度范圍 |
- |
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尺寸（高x寬x高） |
12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm |
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特征 |
對低流量敏感，響應(yīng)增強(qiáng) 時間，低功耗，模擬輸出，雙向感應(yīng)能力 |
