HAF 系列-高流量
霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為指定的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對(duì)空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。
Zephyr 傳感器旨在測(cè)量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。
這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測(cè)量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，提供對(duì)于流量的可重復(fù)響應(yīng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 補(bǔ)償式
● 10 SLPM 至 300 SLPM
● 數(shù)字輸出
相關(guān)產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù)
| 性能參數(shù) | |
| 信號(hào)調(diào)節(jié) | 放大，補(bǔ)償 |
| 技術(shù) | 帶隔熱加熱器的硅芯片 |
| 流量/壓力范圍 |
10 SLPM, 15 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, |
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輸出 |
數(shù)字（I2C） |
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耗電量 |
•3 Vdc:60 mW最大值 •10 Vdc:200 mW最大值 |
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接口方式 |
歧管安裝，外徑22 mm錐形外螺紋接頭，G 3/8內(nèi)螺紋接頭 |
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媒體兼容性 |
干燥無腐蝕性氣體 |
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工作溫度范圍 |
-20°C to 70°C [-4°F to 158°F] |
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補(bǔ)償溫度范圍 |
0°C to 50°C [32°F to 122°F] |
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尺寸（高x寬x高） |
110 mm x 54,4 mm x 54 mm [4.3 in x 2.14 in x 2.1 in] (外徑22 mm錐形外螺紋管件-最大) |
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特征 |
內(nèi)置旁路提供高性能，易于集成，和自定義校準(zhǔn) |
