HAF 系列-低流量
霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為指定的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對(duì)空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。
Zephyr 傳感器旨在測(cè)量空氣和其他無(wú)腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。
這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測(cè)量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，提供對(duì)于流量的可重復(fù)響應(yīng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 補(bǔ)償式
● ±50 SCCM 至 ±750 SCCM - 模擬或數(shù)字輸出
● 10 SLPM 至 300 SLPM - 數(shù)字輸出
相關(guān)產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù)
| 性能參數(shù) | |
| 信號(hào)調(diào)節(jié) | 放大，補(bǔ)償 |
| 技術(shù) | 帶隔熱加熱器的硅芯片 |
| 流量/壓力范圍 |
±50 SCCM to ±750 SCCM |
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輸出 |
模擬（Vdc）、數(shù)字（I2C） |
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耗電量 |
•3.3 Vdc:40 mW典型值（空載）（模擬） 23 mW典型值（空載）（數(shù)字） •5.0 Vdc:55 mW典型值（空載）（模擬） 38 mW典型值（空載）（數(shù)字） |
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接口方式 |
長(zhǎng)端口，短端口 |
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媒體兼容性 |
干燥無(wú)腐蝕性氣體 |
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工作溫度范圍 |
-20°C至70°C[-4°F至158°F] |
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補(bǔ)償溫度范圍 |
0°C至50°C[32°F至122°F] |
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尺寸（高x寬x高） |
長(zhǎng)端口: 20 mm x 36 mm x 19,9 mm [0.79 in x 1.42 in x 0.78 in] 短端口: 17,6 mm x 28,8 mm x 19,9 mm [0.69 in x 1.13 in x 0.78 in] |
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特征 |
高精度，極低流量下的高靈敏度，高穩(wěn)定性， 低壓，線性輸出；可定制、全面校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償 |
